教員紹介
工業的に重要な変位、角度、および形状などを、光の波動性や粒子性を利用して、非接触で高精度、かつ、高速に測定するシステムを開発しています。「光で測る」をキーワードにミリメートルからナノメートルまで、さまざまな感度を持つ高精度計測システムの開発を行っています。光をプローブとして利用するため、非接触です。そのため、測定対象を傷つけることがありません。また、非接触測定のため、高速に測定を行うことが可能です。