知能ロボット工学科Department of Intelligent Robotics

研究紹介

強誘電体や圧電体は、各種センサやマイクロアクチュエータなどの電子デバイスに応用がひろがっている電子材料の仲間です。高性能な電子デバイスに応用するためには、高品質な強誘電体薄膜や圧電体薄膜の作製が必要です。

講義科目

• 先端電子材料，センサ工学
• 知能デザイン工学実験１，知能デザイン工学実験２
• プレゼンテーション演習，専門ゼミ

研究キーワード

• 強誘電体
• 圧電体
• 機能デバイス
• 電子線誘起反応

研究テーマ

1. 1．強誘電体薄膜・圧電体薄膜の作製と応用
2. 2．電子線誘起反応プロセスによる非鉛系強誘電体薄膜の微細加工

プロフィール

博士（工学）（京都大学）

H2.3

京都大学 工学部 電子工学科 卒業

H4.3

京都大学大学院 工学研究科 電気工学第二専攻 修士課程修了

H9.9

博士後期課程 修了

H9.10～H19.3

富山県立大学 工学部 助手

H19.4～H23.3

同大学 講師

H23.4～

同大学 准教授，現在に至る

最近の研究業績

1) T. Fujii, T. Kawachi and M. Adachi: Fabrication of Ferroelectric Microstructures by Electron-Beam-Induced Patterning Process, Ferroelectrics, Vol. 406, pp. 16-23 (2010).
2) T. Fujii, O. Furukawa, S. Ebi, and T. Karaki, Fabrication of Ferroelectric Micropatterns by Electron-Beam-Induced Reaction Process, 2018 ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference (IFAAP 2018).

国内外学会活動

1)（公社）応用物理学会 会員 （平成2年4月～現在）
2)（公社）応用物理学会北陸・信越支部 幹事 （平成18～19年，22～25年）
3)（公社）応用物理学会 代議員 （平成22年～平成25年）